¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀ» ÀÌ¿ëÇÑ MEMS±â¼ú·Î Á¦À۵Ǵ ¹Ì¼¼¹Ù´ÃÀº °í°¡ÀÇ ÀåºñµéÀÌ ´Ù¼ö ÇÊ¿äÇϸç, Á¦ÀÛ °øÁ¤ÀÌ ´Ù¼Ò º¹ÀâÇÏ¿©
Á¦ÀÛ ´Ü°¡°¡ ³ô¾ÆÁö°Ô µÈ´Ù. ¹Ì¼¼¹Ù´ÃÀº À§»ý»ó ÀÏȸ¿ëÀ¸·Î ÀÌ¿ëµÇ¾î¾ß Çϱ⠶§¹®¿¡ ³ôÀº Á¦Ç° °¡°ÝÀº »ó¿ëÈ¿¡ Å«
°É¸²µ¹ÀÌ µÈ´Ù.
µû¶ó¼ MEMS ±â¼ú·Î Á¦ÀÛµÈ ¹Ì¼¼¹Ù´ÃÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±× ¿ª»óÀÇ ±ÝÇüÀ» Á¦ÀÛÇϰí, ÀÌ ±ÝÇüÀ» ÀÌ¿ëÇϸé
Àú·ÅÇϸ鼵µ »ýüÀûÇÕ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ °íºÐÀÚµéÀ» ´ë·®»ý»êÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ ¹Ì¼¼¹Ù´ÃÀÇ »ó¿ëÈ¿¡´Â °¡Àå ÀûÇÕÇÏ´Ù. |